你知道鍍鋅風(fēng)管制造商的類(lèi)型嗎?以下列出了以下類(lèi)型。
鍍鋅風(fēng)管制造商。
(1)一般排氣:機器發(fā)熱,產(chǎn)生無(wú)害物質(zhì)或高溫氣體,但考慮到潔凈室空調和過(guò)濾設備的負荷,廢氣用一般風(fēng)車(chē)排入大氣環(huán)境,無(wú)需處理。注:GEX選用鍍鋅螺旋風(fēng)管,HEX選用SUS304酸排(SEX),堿排(AEX)系統流程。
(2)酸堿排氣:主要來(lái)自化學(xué)清洗站。清洗晶片時(shí)產(chǎn)生的揮發(fā)性氣體含有濃煙,刺激呼吸系統。因此,必須用Scrubberubber清洗,然后通過(guò)風(fēng)扇排放到大氣中。
(3)有機溶劑排氣:主要來(lái)源于涂膠、顯影工藝和各工序有機溶劑清洗過(guò)程中,需要用有機廢氣處理設備處理,然后風(fēng)扇排入大氣。
(4)堿脫氣:其主要來(lái)源是數組工程脫皮過(guò)程中使用的脫皮液。廢氣通過(guò)冷凝吸收器冷卻廢氣中的去除液,冷凝器吸收處理的廢氣中含有的廢氣濃度會(huì )大大降低,然后送到CentralScrubber進(jìn)行洗滌處理,再由風(fēng)扇排入大氣。
(5)緊:在潔凈室機臺端風(fēng)管中,探頭感應氣體濃度過(guò)高時(shí),緊急開(kāi)啟,使生產(chǎn)正常,保持室內環(huán)境。